爱发科(ulvac) |
NB300B |
280 m3/h |
330 m3/h |
ULVOIL R-4 |
4.0×10-1 |
0.75 kw |
特长
洁净的真空
腔体内没有润滑油,对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运作
选用比标准电机容量大一级的电机,即可实现在高吸入压强下的运作。
技术参数
* 1 用皮拉尼真空计测量的值,如用麦氏真空计测量,则为4.0×10-2Pa,而NB1200B则为6.7×10-2Pa。
* 2 随粗抽泵的性能而变化,表中数据是与标准粗抽泵组合使用时的数据。
* 3 对于530Pa以下可用空冷,但530Pa以上进行连续运转必须用水冷。
* 4 冷却水入口温度必须为5~30℃。如冷却水温过低,则泵不应在易结露的环境中使用。
外形尺寸图
抽气速率曲线
用途
• 照明、电子、光学、半导体。
• 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。
• 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。
• 分析仪器、检漏设备、CO2激光设备。